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硅酸酯  

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四乙氧基硅烷(电子级)

四乙氧基硅烷(电子级)
  • 产品编号:BOSIL-781
  • CAS NO:78-10-4
  • 有效含量:≥99.9%
  • 外观颜色:无色透明液体
  • 包装规格:塑料桶/铁桶/
  • 产品净重:吨桶或客户要求
  • 产品用途:四乙氧基硅烷(电子级)用于加工成电子级四乙氧基硅烷用于晶圆的制造。用于生成二氧化硅薄膜,是半导体、分立器件、微机电系统制造所需的电子化学品。 四乙氧基硅烷(电子级)用作半导体行业制作高品质研磨粒子。 四乙氧基硅烷(电子级)可以做无氯或者超低氯的耐热材料。
产品描述

化学名:四乙氧基硅烷(电子级)

CAS:78-10-4

牌号:BOSIL-781


产品信息

四乙氧基硅烷

分子式:C8H20O4Si

分子量:208.33

01.png 

产品特性

电子级四乙氧基硅烷(TEOS),主要用于IC晶圆制造过程中的CVD制程,对其纯度要求非常严格,纯度需8N以上,各项杂质需小于1个ppb,尤其是金属离子杂质(Na、K、Mg、Fe、Ca、Al等),金属离子是电活性杂质,会降低沉积在半导体器件二氧化硅薄膜层绝缘性能,会导致微米级的电路互相联通,从而导致电路板报废。电子原料级四乙氧基硅烷,总阳离子含量和总氯含量极低,完全具备加工成电子级四乙氧基硅烷的条件。

 

理化数据

      1.png

注:以上数据仅供参考,不能作为技术规格制定


产品应用

四乙氧基硅烷(电子级)用于加工成电子级四乙氧基硅烷用于晶圆的制造。用于生成二氧化硅薄膜,是半导体、分立器件、微机电系统制造所需的电子化学品。

四乙氧基硅烷(电子级)用作半导体行业制作高品质研磨粒子。

四乙氧基硅烷(电子级)可以做无氯或者超低氯的耐热材料。

 

保存储存期

密封保存,保质期12个月。容器打开后应封好以防水汽进入产生水解。


包装

可用容器的大小型号可以向新蓝天处查询。

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