四甲氧基硅烷（电子级）

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四甲氧基硅烷（电子级）

产品编号：BOSIL-681
CAS NO：681-84-5
有效含量：≥99.5％
外观颜色：无色透明液体
包装规格：塑料桶/铁桶
产品净重：吨桶或客户要求
产品用途：四甲氧基硅烷（电子级）可用作溶胶-凝胶反应中间体。四甲氧基硅烷（电子级）可以做无氯或者超低氯的耐热材料。四甲氧基硅烷（电子级）用作半导体行业制作高品质研磨粒子。四甲氧基硅烷比正硅酸乙酯价格低，二氧化硅含量高，可以用于制备半导体CVD制程。

产品描述

化学名：四甲氧基硅烷（电子级）

CAS：681-84-5

牌号：BOSIL-681

产品信息

四甲氧基硅烷

分子式：C₄H₁₂O₄Si

分子量：152

产品特性

四甲氧基硅烷可以水解形成二氧化硅研磨粒子（硅溶胶），其分散性及选择性好，活性极强，易于处理过程清洗的废液，常用于硅、SiO₂层间介电层的抛光。

四甲氧基硅烷的二氧化硅含量比四乙氧基硅烷的高，做成二氧化硅研磨粒子成本更低。

理化数据

注：以上数据仅供参考，不能作为技术规格制定

产品应用

四甲氧基硅烷（电子级）可用作溶胶-凝胶反应中间体。

四甲氧基硅烷（电子级）可以做无氯或者超低氯的耐热材料。

四甲氧基硅烷（电子级）用作半导体行业制作高品质研磨粒子。

四甲氧基硅烷比正硅酸乙酯价格低，二氧化硅含量高，可以用于制备半导体CVD制程。

保存储存期

密封保存，保质期12个月。容器打开后应封好以防水汽进入产生水解。

包装

可用容器的大小型号可以向新蓝天处查询。

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